低脉动气动风囊泵
低脉动
独特的系统驱动机制，确保气囊最佳运动效果，将脉动减到最低。
减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下，减少高达30%的压缩空气消耗量。
高持续压力
最佳的气囊运动，有效提高压力的承受能力，以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力，尤其在单晶圆处理过程中。
无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器，节省设备空间及安装费用，例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。
规格
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最大流量 L/min |
50 |
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最大脉动宽度 MPa |
0.06 |
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液体温度范围 °C(MPa) |
5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3) |
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压缩空气压力范围 MPa |
0.41 ~ 0.5 |
0.31 ~ 0.4 |
0.21 ~ 0.3 |
0.11 ~ 0.2 |
0.1 |
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最高冲程率 spm |
120 |
140 |
155 |
160 |
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最大压缩空气消耗量 NL/min |
464 |
419 |
338 |
252 |
116 |
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最大粘度 mPa·S |
50 |
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吸程 m |
1 |
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环境温度 / 湿度 °C/%RH |
0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝) |
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储存温度 / 湿度 °C/%RH |
-10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝) |
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操作方式 |
间隔 /连续 |
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驱动方式 |
外部压缩空气 |
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接头尺寸 mm |
Ø25 x Ø22 软管 |
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压缩空气接头尺寸 |
Rc3/8 |
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空气端口 |
Ø6 一触式接头 |
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重量 kg |
22 |
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